講演概要
半導体の高性能化・多様化を受け、製造装置に搭載される素材も高度化・高品質化・多様化が進んでいます。半導体露光などの光学的用途で使用されるガラスにおいても、一般的な光学材料に求められる性能(屈折率・分散)以外の特性が求められます。
オハラは、優れた内部透過率および光学的均質性を持つ製品や、温度変化に対するゼロ膨張特性を有する製品などをラインナップしており、特に半導体製造の後工程での需要が高まっています。本セミナーでは半導体市場の成長にともない、ますます高性能化する半導体製造装置のニーズに応えるオハラのガラス系素材を紹介します。
【株式会社オハラについて】オハラは1935年創業のガラスメーカー。半導体露光装置に用いられる高均質性光学ガラス、デジタルカメラ用レンズ素材のほか、リチウム電池用の素材など約170種類以上の幅広い製品を製造・販売しています。