半導体製造におけるデジタルツインとプロセスインフォマティクス

アイクリスタル

髙石 将輝 氏

2019年3月　名古屋大学 工学部 物理工学科 卒業
2019年11月　アイクリスタル株式会社 設立 取締役 就任
2021年3月　名古屋大学大学院 工学研究科 物質プロセス工学専攻 修了、アイクリスタル株式会社 代表取締役 就任（現任）

プロセスインフォマティクス事業責任者兼務 ／ AIエンジニア。
専門：物理シミュレーション × 機械学習、数理最適化、ベイズ最適化。
SiC溶液成長における最適な結晶成長条件探索を研究。

半導体製造業界は技術革新と効率化の追求により急速に進化しています。本講演ではデジタルツインとプロセスインフォマティクスが半導体製造技術に与える影響について深掘りします。
デジタルツインは物理的な製造プロセスを仮想空間上に再現し、シミュレーションを通じて最適な製造条件を見つけ出す技術です。これにより、製造プロセスの最適化や異常検知が可能となり、品質向上とコスト削減が期待されます。一方、プロセスインフォマティクスは、製造データを活用してプロセスの最適化を図る技術であり、AIや機械学習を用いて製造条件の最適化や異常検知を行います。これにより、製造の効率化や品質向上が実現されます。
本講演では、デジタルツインを用いたSiウェーハ製造からCIS製造までのプロセス全体の最適化について紹介します。これらの技術が半導体製造の未来をどのように変えるかについて、具体的な事例を交えて解説します。